這種化學，機械老化還包括電阻臺金的高溫氧化。此外，改變 佳薄膜厚度還會嚴重影響TCR。由于較薄的沉積層更容易氧化，因此高阻值薄膜電阻退化率非常高。

　　由于金屬量少，薄膜電阻在潮濕的條件下極易自蝕。浸入封裝過程中，水蒸氣會帶八雜質，產生的化學腐蝕會在低壓直流應用幾小時內造成薄膜電阻開路。改變 佳薄膜厚度會嚴重影響TCR。

　　由于較薄的沉積層更容易氧化，因此高阻值薄膜電阻退化率非常高。